Controllable chemical vapor deposition synthesis of carbon layers on copper substrate

Mariya Kozlova, Tatiana Larionova, Tatiana Koltsova, Daria Kopylova, Oleg Tolochko

    Результат исследований: Глава в книге, отчете, сборнике статейМатериалы для конференциирецензирование

    Аннотация

    The paper studies the effect of technological parameters of the deposition process from the gas phase to the thickness of the carbon layers and their functional characteristics. Graphene and graphite layers have been synthesized by varying total pressure, methane partial pressure and temperature of synthesis. The synthesized films demonstrate an absorption in the range from 4.4% to 99.5% and electrical resistivity varying from 0.14 to 2 kΩ/sq. The obtained results make possible controllable synthesis of carbon films with specified characteristics for use as a photodetectors.

    Язык оригиналаАнглийский
    Название основной публикацииEngineering Materials and Tribology XXV
    РедакторыDagnija Loca
    ИздательTrans Tech Publications Ltd
    Страницы263-266
    Число страниц4
    ISBN (печатное издание)9783035710724
    DOI
    СостояниеОпубликовано - 2017
    Событие25th International Baltic Conference of Engineering Materials and Tribology – BALTMATTRIB - Riga, Латвия
    Продолжительность: 3 нояб. 20164 нояб. 2016

    Серия публикаций

    НазваниеKey Engineering Materials
    Том721 KEM
    ISSN (печатное издание)1013-9826
    ISSN (электронное издание)1662-9795

    Конференция

    Конференция25th International Baltic Conference of Engineering Materials and Tribology – BALTMATTRIB
    Страна/TерриторияЛатвия
    ГородRiga
    Период3/11/164/11/16

    Fingerprint

    Подробные сведения о темах исследования «Controllable chemical vapor deposition synthesis of carbon layers on copper substrate». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

    Цитировать